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無油真空泵 潤(rùn)滑微型真空泵，具有高效節(jié)能、安全環(huán)保、低噪音的特點(diǎn)，而且運(yùn)行平穩(wěn)、高可靠性、長(zhǎng)壽命、無油易維護(hù)；可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備、汽車工業(yè)、自動(dòng)控制、分析儀器、生物制藥等領(lǐng)域，是純凈和環(huán)保真空的理想選擇。

可編程精密不銹鋼勻膠機(jī)，采用高精度工業(yè)伺服電機(jī)，配置8英寸人機(jī)界面，清晰的編程程序界面設(shè)置，易學(xué)易用。是半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器設(shè)備。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所，實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，可編程不銹鋼勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

不銹鋼勻膠機(jī)HC150P：E可編程勻膠機(jī)，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔，4.3英寸觸摸屏，工業(yè)級(jí)直流電機(jī)及高級(jí)PLC控制，直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì)，美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 　　不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE:該勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂?jī)?nèi)腔，美觀耐腐蝕，經(jīng)久耐用。

精密旋涂?jī)x：采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

HC220可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī)，采用高精度工業(yè)伺服電機(jī)，配置8英寸人機(jī)界面，清晰的編程程序界面設(shè)置，易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所，實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開發(fā)

HC220PE精密勻膠機(jī) HDPE高分子內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；可編程寫和存儲(chǔ)100組程序，每組100步