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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC120SE4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

簡要描述:4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)安賽斯TM可編程勻膠機(jī)采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸屏操作;高級(jí)PLC控制;化學(xué)兼容性;高精度,高重復(fù)性。

  • 產(chǎn)品型號(hào):HC120SE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:1870

詳細(xì)介紹

4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)


4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

產(chǎn)品介紹:


稱:4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

型號(hào):HC120SE

應(yīng)用: HC120SE小巧型可編程勻膠機(jī),被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~120mm或?qū)?yīng)的方片,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡單易用。


產(chǎn)品概述


4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)制膜的原理:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高質(zhì)量薄膜涂層的制備。

4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀),被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為?5mm~120mm或?qū)?yīng)的方片,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡單易用。該型號(hào)勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

??HC120SE小巧型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,程控操作,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。


產(chǎn)品特點(diǎn):


●  設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用;

●  316不銹鋼材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;采用分體式結(jié)構(gòu),易清潔和移動(dòng);

●  4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;

●  采用高級(jí)PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時(shí)間、加速度等工藝參數(shù)可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

● 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

●  轉(zhuǎn)速、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作。

● 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;


技術(shù)參數(shù):


●  適用晶元尺寸范圍:直徑5~120mm;

●  旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;

● 旋涂加速度:100-30000rpm/s

●  最大旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s;

● 內(nèi)腔直徑200mm,內(nèi)腔采用獨(dú)特的凹面防濺設(shè)計(jì);

●  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;

●  電源輸入:AC200-230V


4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀)



4英寸可編程勻膠機(jī)(旋涂儀),標(biāo)準(zhǔn)配置包含1臺(tái)無油真空泵和3只常規(guī)載物盤,更多產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系安賽斯工作人員


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